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【半導体・液晶】極限のクリーン度。「PFA-HGチューブ（TOMBO No.9003-PFA-HG）」が選ばれる理由 株式会社ダイコー
【半導体・液晶】極限のクリーン度。「PFA-HGチューブ（TOMBO No.9003-PFA-HG）」が選ばれる理由
「薬液のパーティクル（微粒子）を極限まで減らしたい」
「配管洗浄（フラッシング）の時間を短縮し、立ち上げを早くしたい」
「過酷な薬液を使うため、高い耐久性が欲しい」
ナノレベルの微細加工が求められる半導体や液晶製造の現場において、配管チューブに求められるスペックは年々厳しくなっています。
標準的なPFAチューブでは到達できない、これらの高度な要求に応えるのが、ニチアスの「TOMBO No.9003-PFA-HG ナフロン® PFA-HGチューブ」です。なぜ「HG（ハイグレード）」なのか、その圧倒的なスペックを紐解きます。
1. 核心技術：「内面の平滑化」がすべてを変える
PFA-HGの最大の特徴は、チューブ内面の驚異的な「平滑性（なめらかさ）」にあります。
2. 素材の進化：「NEW PFA」による純粋性と耐久性
PFA-HGは、単に表面が滑らかなだけではありません。使用されている原材料自体が、標準品とは異なる「NEW PFA化された原料」です。
① ふっ素イオン溶出の激減
原料の末端基が安定化処理されており、ポリマーからのフッ素イオン脱離が抑えられています。
溶出ふっ素イオン濃度（24時間後）：
- 一般PFAチューブ：4.2 ppm
- PFA-HGチューブ：0.3 ppm
※数値は実測値の一例です。
② 金属イオン溶出も極少
半導体プロセスで忌避される金属イオン（Na, K, Fe, Cuなど）の溶出も、極めて低いレベル（多くが検出限界以下）に抑えられています。
③ 耐ストレスクラック性の向上
硫酸過水や発煙硫酸といった、チューブに負担のかかる薬液環境下において、応力割れ（ストレスクラック）に対する耐性が向上しています。安全性が求められる危険な薬液ラインにこそ、HGグレードが推奨されます。
3. 「透明性」と「絶縁性」の向上
結晶構造のコントロールは、物理特性の向上にも寄与しています。
- 透明性の向上: 標準のPFAチューブに比べて透明性が高く、内部を流れる薬液の色や気泡の確認がより容易になります。
- 絶縁耐力の向上: 均一な微細構造により、電気的な絶縁破壊に対する耐力も向上しています。
4. 主な用途と仕様
まとめ：ウルトラクリーン配管の決定版
TOMBO No.9003-PFA-HGは、チューブ内面を平滑にすることで、「汚れない・溜まらない・漏れにくい」を実現した、高機能ふっ素樹脂チューブのスタンダードです。
- 歩留まりを向上させたい半導体ライン
- 洗浄時間を短縮したい分析ライン
- より高い安全性を求める薬液ライン
これらの用途には、迷わず「PFA-HG（ハイグレード）」をご選定ください。
「グレードの選定に迷っている」「さらに上位のSG/UGグレードとの違いを知りたい」
そのようなご要望は、ぜひ株式会社ダイコーへご相談ください。お客様の厳しい要求スペックに応える最適な製品をご提案いたします。
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